扫描电镜多角度图像采集系统研究

摘要： 传统的扫描电子显微镜只能采集到样品的二维图像，难以获得样品表面更真实的形貌特征和量化的高度信息。为了实现扫描电镜的三维形貌表征，通过改进采集系统增加通道数来控制四象限分布式背散射电子探测器组，获取单视角多角度“光源”下的图像数据，并采用三维成像算法中的光度法，来实现三维重建。本文设计了基于STM32系列微控制器的模拟电压信号采集和发生卡，利用QT平台开发了扫描电子显微镜图像采集... （共10页）