基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建研究

摘要： 由FIB与SEM结合而成的双束系统拥有高精度微纳加工能力的同时也具有超高空间分辨率成像功能。在微纳尺度下使用双目立体视觉进行三维重建对指导微纳材料加工等具有重要意义。本文提出了一种基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建方案：利用双目视觉结合图像处理技术测量出样品表面的深度信息。实验结果表明，该方法显著提高了微纳样品表面深度信息的精准度，为SEM图像三维构建提供了新的思... （共13页）