全局与局部多尺度特征融合晶圆缺陷分类网络

摘要： 在半导体制造领域，晶圆缺陷分类是确保产品质量的重要步骤。然而，由于晶圆缺陷的多样性和复杂性，现有的混合型晶圆缺陷分类网络在准确性上仍然存在不足。针对这一问题，提出了一种基于全局和局部多尺度特征融合的混合型晶圆缺陷分类网络—MLG-Net。MLG-Net由3个主要模块组成：特征提取模块、全局分支和局部分支。该网络旨在更好地提取和利用晶圆缺陷图像的全局语义信息与局部细节特征，这两种... （共11页）