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 电磁透镜的象散(astigmatism)是由于透镜中极靴的机械不对称或极靴材料导磁率不均匀而引起透镜磁场不对称所致,结果造成物点的像产生两条焦线,形成模糊像,如图1-7所示。按理论计算,极靴内孔精度△R应为0.028μm,平面精度也要求达到 (共 324 字) [阅读本文] >>