半球谐振子;频率裂解;品质因数;制造工艺...[继续阅读]
机械工程学报2023-09-25
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半球谐振子;频率裂解;品质因数;制造工艺...[继续阅读]
几何量计量;晶圆校准器;误差补偿;椭圆拟合;顺序抽样一致性...[继续阅读]
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激光技术;光电跟踪系统;摩擦补偿;LuGre摩擦模型;终端滑模观测器...[继续阅读]
红外光斑定位;高斯滤波;小波变换;形心法...[继续阅读]
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