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 作为另一种外延层制备技术,近空间气相输运(closespacevaportransport,CSVT)具有较高的化学效率(chemicalefficiency),而化学效率是指固体薄膜的Si生长量和Si供应量的比例[40,41]。虽然CSVT技术在20世纪60年代就被了解[42],但是CSVT最近被美国国家可 (共 1027 字) [阅读本文] >>
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 作为另一种外延层制备技术,近空间气相输运(closespacevaportransport,CSVT)具有较高的化学效率(chemicalefficiency),而化学效率是指固体薄膜的Si生长量和Si供应量的比例[40,41]。虽然CSVT技术在20世纪60年代就被了解[42],但是CSVT最近被美国国家可 (共 1027 字) [阅读本文] >>