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1.2.4 离子辅助沉积
薄膜太阳能电池

1.2.4 离子辅助沉积图片（共1张） :

离子辅助沉积(IonAssistedDeposition,IAD)基于电子枪蒸发(ElectronGunEvaporation,EGE)和Si的部分离子化(partialionization)[43],如图1.7所示。外加电压(externalvoltage或appliedvoltage)会加速Si离子向衬底的运动。典型的加速电压(accelerationvoltage)为20V,这在单晶（共 1062 字） [阅读本文] >>

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1.2.4 离子辅助沉积 - 薄膜太阳能电池

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