海量资源,尽在掌握
 作为最近发展的大规模生产工艺,对流辅助化学气相沉积(ConvectionassistedChemicalVaporDeposition,CoCVD)可以有效地使用热对流,以控制反应腔中的气体流动,并且通过对流回收未充分使用的气体前驱物[90],如图1.23所示。反应腔与水平方向的夹角 (共 417 字) [阅读本文] >>