海量资源,尽在掌握
 虽然连续化学气相沉积ConCVD和对流辅助化学气相沉积CoCVD已经在大规模生产的可行性上取得了很大的进展,但是这两种概念的可靠性和安全性仍然有待论证。微电子领域发展了分批式外延反应腔(batchtypeepitaxialreactor),用SiH4作为Si前驱物 (共 1142 字) [阅读本文] >>