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 温度差法(temperaturedifferencemethod,TDM)是一种有较好前景的准连续技术,可以在10cm×10cm的大面积多晶硅衬底上生长外延层,是液相外延LPE大规模生产研究的重要方向[95,96]。TDM先被用于为发光器件沉积Ⅲ-Ⅴ族半导体层(semiconductorlayer)[97]。与 (共 463 字) [阅读本文] >>