海量资源,尽在掌握
 如果大规模生产的液相外延LPE采用连续的在线式工艺,比不上分批式工艺,因为溶解的Si会不断地减少,需要在每一次外延生长后更换溶液。在分批式液相外延(batchtypeliquidphaseepitaxy)中,将16片衬底同时浸润在“无限源”(infinitesource)中,使 (共 433 字) [阅读本文] >>