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 之前章节的讨论表明,即使用单晶硅或多晶硅硅片作为模型衬底,区熔再结晶ZMR生长Si薄膜的质量也依赖于衬底的数个参数。如果用非理想的陶瓷衬底,ZMR更加会受到陶瓷衬底较差特性参数的影响。区别于Si模型衬底,陶瓷衬底的以下几个 (共 2009 字) [阅读本文] >>