海量资源,尽在掌握
 一般条件下,薄膜应力的测量都是在薄膜制备以后,甚至是放置了很多天以后进行。所得到的薄膜应力是薄膜的终态应力,它不仅包含了薄膜应力发生发展的全部信息,还包含了薄膜制备之后,环境、时效及所有的物理化学过程对薄膜应力 (共 6639 字) [阅读本文] >>