海量资源,尽在掌握
 2.2.6.1 13.9nmMo/Si多层膜反射镜的研制13.9nm是软X射线激光的重要输出波长。在极紫外光刻[15]和激光等离子体的诊断中有重要的应用。通过前面的讨论可以知道,在13nm附近Mo/Si是制备多层膜的一对很好的材料。采用Mo/Si材料对进行优化设 (共 3908 字) [阅读本文] >>