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 如图1所示为ITO与Ti/Al金属接触图案,其中金属中心开孔,下方垫有半导体层。为什么不采用如图2表示的简单接触孔样式呢?图1 ITO与Ti/Al金属接触孔图2 理想ITO与Ti/Al金属接触孔如图3所示,ITO与金属Al直接接触,但是Al膜会与ITO膜之间由于 (共 566 字) [阅读本文] >>