海量资源,尽在掌握
 对于给定的刻蚀工艺要仔细选择化学性能满足要求的光刻胶。尽管根据光源、过程设备需求和曝光工具不同这些要求有所不同,但是有一些基本原则是相同的:敏感度、对比度、分辨率、抗蚀性、纯度和加工性能[8]。这些性能可以通过 (共 511 字) [阅读本文] >>