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 4.4.1 负性光刻胶化学负性胶是光照区域的光刻胶溶解度下降,传统光诱发化学过程包括聚合物链间的交联,图像反转,在光刻胶基质中使用催化剂来促进交联反应。双组分交联光刻胶 在半导体工业的早期(1957~1970年)电路的最小特征 (共 7237 字) [阅读本文] >>