海量资源,尽在掌握
 MEMS(MicroelectroMechanicalSystems)即微机电系统(图3-1),是以微电子技术和微机械加工技术为基础的多学科交叉前沿技术。目前,国内外厂家已经研发出了数百种MEMS传感器,除了常用的加速度传感器外,还包括诸如压力传感器、光电学传感器、 (共 212 字) [阅读本文] >>