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 扫描电镜(scanningelectronmicroscope,SEM)的基本装置如图4-3所示,主要包括电子光学系统、样品室、信号处理与显示系统和真空系统四部分。电子光学系统主要由电子枪、电磁透镜和扫描线圈组成。由电子光学系统产生的电子束与样品表面 (共 2813 字) [阅读本文] >>