1)多层膜结构的测试分析软X射线多层膜的结构分析主要包括周期厚度的测量和多层膜的结构分析。厚度的测量一般可采用高分辨的台阶仪和高分辨的光学干涉显微镜,但对X光膜的每层厚度来说,这两种方法的测量精度都太差,并且不能...[继续阅读]

    2.2.6.1　13.9nmMo/Si多层膜反射镜的研制13.9nm是软X射线激光的重要输出波长。在极紫外光刻[15]和激光等离子体的诊断中有重要的应用。通过前面的讨论可以知道,在13nm附近Mo/Si是制备多层膜的一对很好的材料。采用Mo/Si材料对进行优化设...[继续阅读]

    软X激光腔由软X增益介质与正入射多层膜反射镜和分束镜组成。软X射线激光输出镜通常有两种形式,如图2-2-54(a)和(b)所示,前者由光栅和多层膜组成,在这方面我们研制了位相型光栅和多层膜构成的软X激光输出镜,取得了良好的结果;后...[继续阅读]

    一般光栅具有色分辨衍射的功能,但X射线裸光栅在入射角不大的条件下,其衍射效率是非常低的。把多层膜技术和光栅技术结合起来,则可以大大提高衍射效率。多层膜软X射线衍射元件正是建立在这个基础上的。根据实际可能,采用矩...[继续阅读]

    [1]B.L.Henke,P.Lee,T.J.Tanaka,etal..Theatomicscatteringfactorf1+if2,for94elementsandforthe100to2000evphotoenergyregion[C].AIP,1981,75:340-381.[2]B.L.Henke.LowenergyX-rayinteractions:photoionization,scattering,specularandBraggreflection[C].AIP,1981,75:146-...[继续阅读]

    衍射光栅,是一类重要的光学元件,在超短脉冲的脉宽压缩与展宽中有重要应用。早期的反射型衍射光栅一般都是采用金属膜作为反射层的。但是,受到材料本身性质的限制,金属膜存在两个明显的缺点:一是衍射效率不够高,二是激光破...[继续阅读]

    用严格矢量理论可以对多层介质膜光栅的衍射特性进行数值计算和分析。研究衍射效率随浮雕光栅的槽深、占宽比、剩余厚度、入射角度、波长、梯形光栅的角度、分层数目、谐波数目以及多层介质膜折射率和厚度误差等因素的变...[继续阅读]

    2.3.3.1　优化思路以及方法用于脉冲压缩系统中的MDG需要提供尽可能高的衍射效率和激光破坏阈值。为满足压缩光栅这种特殊的性能要求和复杂的制备工艺流程,MDG的设计主要包括3个方面的内容:第一,用于制作MDG的多层介质膜(简称光...[继续阅读]

    2.3.4.1　光栅结构层的等效折射率近似在特定条件下,光栅的光学性质可以用混合材料的等效介质模型来描述。在相关模型中,根据光栅结构的不同和要求精度的不同,其等效折射率可以分别用静态理论的一阶等效介质模型和电磁理论的...[继续阅读]

    超短脉冲激光,对应更宽的工作频宽,这就要求频带更宽的脉冲压缩光栅与之匹配。但是,在多层膜脉冲压缩光栅的实际设计中,负一级衍射的频谱宽度,除了受限于反射带宽外,更会由导模共振的发生而受到限制。由导模共振色散特性的...[继续阅读]