表面形貌衬度是指利用对样品表面形貌特别敏感的信号成像而得到的衬度。二次电子和背散射电子均可以提供形貌衬度,这是扫描电镜中最常用的图像衬度。1.二次电子像的形貌衬度二次电子主要来自表面下<10nm的浅层区域,它的强...[继续阅读]

    电子束与样品相互作用产生某些与样品微区原子序数或化学成分有关的物理信号,例如背散射电子、吸收电子和特征X射线。检测这些信号成像,可以显示出微区内化学成分或原子序数的差异,这称为成分衬度像。1.背散射电子像的成分...[继续阅读]

    当收看某个远方电视台节目时,荧光屏上会出现很多雪花状噪声,重叠在图像上,亮度起伏不定,从而掩盖了图像细节,常言道“信号太弱”,就是这种随机噪声限制了信息量。扫描电镜成像同样存在这个问题,解决的方法是设法提高信噪比...[继续阅读]

    图5-1　两个最近像点的间距分辨率是扫描电镜的重要指标,通常定义为可分辨开的两个最近物点的距离。通常利用测量分辨率的标准样品,拍摄二次电子像,在图像上测量可分辨开的两个最近像点的间距bmin(见图5-1),除以放大倍率M,即为...[继续阅读]

    电子束的最终束斑尺寸dp直接影响图像分辨率。人们总希望电子光学系统可以提供最小的束斑dmin,又可获得最大的束流imax,这就必须建立imax～dmin之间的关系。最终束斑直径dp从公式(5.2)导出:将各直径分别代入上式:前两项为衍射和球差...[继续阅读]

    现代扫描电镜的操作步骤大部分由计算机控制,使用者把样品放入仪器,抽真空、加高压、调焦和变倍、图像亮度和衬度自动调节、拍照和记录图像。整个过程很简单。但是,为了获得满意的图像,在使用仪器前,应该根据研究课题的要求...[继续阅读]

    扫描电镜通常使用10kV～30kV加速电压工作,可获得优质图像;微区成分分析也能提供可靠的定性定量结果。然而对于某些热敏或者导电性能差的样品,例如:半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等...[继续阅读]

    对于某些导电性差的材料,例如半导体、集成电路、印制板、电脑零件、纸张、纤维,或者含水的动植物样品,要求直接观察微观形貌,使用常规高真空扫描电镜受到限制。现在各电镜厂家均可提供低真空(Lowvacuum)或可变压力(Variablepres...[继续阅读]

    扫描电镜的发展极大地丰富了科学家在材料和生命科学方面的知识,而环境扫描电镜(Environmentalscanningelectronmicroscope,简称ESEM)的开发又是技术的重大突破,拓宽了电子显微技术的应用领域。早在1987年,澳大利亚科学家提出了环境电镜的理...[继续阅读]

    电子束入射样品时产生大量背散射电子,如果是无定形样品,背散射电子像的衬度与入射电子束方向关系不大,但在晶体样品中,存在一种与晶体取向相关的衬度像,这就是背散射电子衍射(Electronbackscatterdiffraction,简称EBSD)现象。这种衬度...[继续阅读]